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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

成都“全链条”补助重点研发项目******

　　1月5日，《成都市重点研发项目资助管理办法》（以下简称《管理办法》）新闻通气会在成都市科技局召开。成都市科技局党组成员、副局长陈旭表示，成都市将按照“基础研究—技术创新—成果转化—产业化”等全链条研发活动的思路，对重点研发项目采取前资助或后补助的支持方式，给予最高1000万元的经费支持。

　　陈旭说，按照《管理办法》成都市将打破当前研发项目分散在各类管理制度中的情况，通过“增设类别、调整定位、优化整合、保留提升、并入完善”5种方式，形成8类研发项目的基本架构——基础研究项目、技术创新研发项目、产业链协同创新项目、成果转化示范项目、科技人才支撑项目、科技创新合作项目、校企协同创新项目、国家级科技项目配套资助等。

　　《管理办法》明确，重点研发项目支持的重点领域为基础科学、技术科学、生命与医学、交叉融合领域；先进制造业、现代服务业、都市现代农业等重点产业以及未来产业领域；碳中和、生态保护、应急安全、智慧蓉城、医疗健康、文化和科技融合等社会发展领域，以及其他需重点支持的科技创新领域。

　　陈旭表示，《管理办法》中特别增设了基础研究项目和校企协同创新项目。其中，基础研究项目分为自主选题项目和需求引导项目，面向基础学科领域存在的基础性问题和科学前沿重大问题开展研究，支持经费分别为最高10万元和最高20万元。并且，“基础研究项目”是成都市首次在基础研究领域设立的研发项目。“这是结合实际以及城市经济社会发展与创新需求做出的调整。从全国范围看，基础研究项目多以在国家级以及省级层面设立为主，此次我市设置基础研究项目，这是成都落实《基础研究十年规划》的具体举措。”他说。

　　同时，《管理办法》中的产业链协同创新项目，则面向成都市建圈强链特色优势产业，支持链主企业、行业龙头企业等牵头联合产业链上下游单位，组建企业牵头、高校院所支撑、各创新主体相互协同的创新联合体，协同开展关键核心技术攻关，支持经费为最高1000万元；成果转化示范项目则支持具备稳链补链延链功能、催生新产业的科技成果在蓉转化应用，打造具有产业或区域带动意义的应用场景，支持经费为最高1000万元。（芶文涵 陈 科）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）